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新設(shè)備銷售
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- THC、 CPC（For TEL DNS涂膠顯影設(shè)備）
- STHC（For TEL DNS涂膠顯影設(shè)備）
- Chiller（For TEL LAM AMAT 刻蝕設(shè)備）
停產(chǎn)設(shè)備及零部件的改造
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溫控維修
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- 精密空調(diào) THC&STHC維修（FOR涂膠顯影設(shè)備）
- 精密液調(diào) Chiller維修（FOR刻蝕 量測設(shè)備等）
- 光刻機溫控系統(tǒng)的維修
電控：控制模塊部件停產(chǎn)改造
- THC控制系統(tǒng)模組（CPC，NRC）
- DNS用復(fù)合機控制系統(tǒng)模組（3600）
- Chiller控制系統(tǒng)模組
刻蝕：Chiller冷凍機系統(tǒng)改造
-老機型冷凍機系統(tǒng)出現(xiàn)冰堵現(xiàn)象，導(dǎo)致控溫異常；
半導(dǎo)體：THC冷凍機系統(tǒng)替代改造
- 采用環(huán)保制冷劑&變頻技術(shù)；
液晶面板：軟件升級&變頻控制系統(tǒng)改造
- 6代線Chiller耗電量大，年度用電消耗量降低20%；
CMS智能監(jiān)控系統(tǒng)
1數(shù)據(jù)采集：秒數(shù)采集、實時監(jiān)測機況自身關(guān)鍵指標(biāo)
1數(shù)據(jù)分析：算法+大數(shù)據(jù)分析識別異常
1報警預(yù)案：異常檢測后觸發(fā)報警，通知管理員，提前做預(yù)案，
1減少Q(mào)ueue time故障等待時間
光刻：STHC/Chiller數(shù)據(jù)監(jiān)測&收集
實時監(jiān)測機臺運轉(zhuǎn)狀況及故障風(fēng)險預(yù)評估，提前做預(yù)案，減少Q(mào)ueue time故障處理等待時間，保障產(chǎn)能
光刻：漏液監(jiān)測系統(tǒng)加裝
異常情況下系統(tǒng)自動切斷管路電磁閥，機臺停止運轉(zhuǎn)，觸發(fā)漏液報警；減少泄露污染
刻蝕：VOC監(jiān)測系統(tǒng)加裝
監(jiān)測Chiller冷凍機系統(tǒng)制冷劑泄露和氟化液循環(huán)管路漏液，觸發(fā)系統(tǒng)報警；精準(zhǔn)找到露點，減少環(huán)境污染
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